2024年3月20日至22日，被誉为“半导体盛宴”的SEMICON China 2024在上海新国际博览中心举行。合肥欣奕华第四代半导体AMHS在展会上精彩亮相。
根据SEMI最新预测数据，全球半导体销售额2024年有望增长10%以上，并在2030年突破1万亿美元。半导体AMHS投入约占整个晶圆厂设备支出2~3%，已形成百亿级人民币规模的产业风口。作为晶圆厂制造不可或缺的设备系统，AMHS长期被国外少数企业垄断。
半导体工厂需要无尘洁净的环境运行，因而对自动化、智能化程度要求越高越好。AMHS，也称为天车系统，可快速准确按照工艺流程在生产设备之间自动搬送装载晶圆。通过该系统，可以大幅度减少晶圆在各个工艺机台的等待时间，提升生产效率，同时，标准化的搬运过程可明显提高产品良率，通过无人化搬运减少人员误操作，因而广泛应用于半导体硅片厂、芯片制造厂、芯片封装厂。
合肥欣奕华主营泛半导体工艺、检测及移载设备，以及工业软件和大数据解决方案。自2021年开始，合肥欣奕华布局半导体AMHS系统开发，目前，已完成第四代产品迭代开发。
作为AMHS的核心部件之一，合肥欣奕华第四代OHT（空中无人悬挂式搬运车），较第三代产品本体尺寸缩小14厘米，直线行走速度可高达320米/分钟，振动控制≤0.35G，让价值不菲且又体质“脆弱”的晶圆，在快速自动搬运中获得稳稳的依靠。
此外，该设备还可根据实际，实现最优路径规划，并实时动态更新，设备运行轨迹与动作可视化，运行参数监控可提前预测故障，各项技术规格水平达到全球先进水平。
据悉，基于第四代OHT，合肥欣奕华打造的首套12寸半导体AMHS整体解决方案已于2023年实现量产交付客户应用，并陆续获得了国内8寸Fab客户前道制程整厂AMHS订单和12寸Fab客户前道制程OHT订单。
近年来，合肥半导体产业发展迅速，产业集聚效应不断凸显，创新成果加速涌现。目前，合肥已经成为全国少数几个拥有集成电路设计、制造、封装测试及设备材料全产业链的城市之一，集聚长鑫存储、晶合集成、通富微电、汇成股份、恒烁股份、颀中科技等一批龙头企业。
合肥通客户端—合报全媒体记者 李后祥
