2023年，全球集成电路产业低迷，市场规模下降8.2%，但同期，我国集成电路产业发展仍稳健，销售规模增长2.3%。其中，产业比重占全国22.4%的上海尤显韧性，去年增长6.4%，更在今年1至4月实现17%的增速。这是记者从上海市集成电路行业协会六届四次会员大会暨上海集成电路产业发展国际高峰论坛上获得的信息。
在去年以来上海集成电路产业的增长中，设备材料制造拉动较大，去年实现29%的增长，证明产品品质通过了市场与生产双重考验。如现年80岁的尹志尧博士于2004年创办的中微公司，去年实现了成立以来的最好业绩，刻蚀设备新增订单价值达69.5亿元，同比增长60%。公司的CCP电容性高能等离子体刻蚀机和ICP电感性低能等离子体刻蚀机，可满足国内95%以上的刻蚀应用需求。而在国际先进的芯片制造客户生产线上，已有近600台中微的双反应台刻蚀设备，其中一半用于5纳米及更先进制程。
事实上，集成电路微观加工设备是产业真正的底座，去年以约千亿美元的产值支撑了约1万亿美元的半导体芯片制造，由此再支撑约3万亿美元的电子系统，最终带动全球约20万亿美元的软件、网络、电商、传媒、AI、自动驾驶、ChatGPT等数码智能产业上层应用。由于是产业的核心之核心，因此近年来国际集成电路产业间彼此制约与限制的举措中80%以上围绕设备进行。
芯片制造需要上千道工序，其中光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备及检测设备是最关键的。目前，我国在DUV和EUV光刻机、电子束检测等设备领域的自主可控程度存在“高风险”或“难以覆盖”，但刻蚀机领域与国际先进水平差距不大。如果将芯片制造比作雕刻，光刻机就是将雕刻线稿(电路图)描绘在材料(晶圆表面)上的画笔，刻蚀机则是负责剔除线稿多余部分的雕刻刀。尹志尧在论坛上介绍，中微公司的等离子体刻蚀机相当于在头发丝直径七千分之一到上万分之一的尺度上加工微观结构。一台刻蚀机每年要加工10的18次方，相当于打出百万万亿个又细又深的接触孔，并实现99.99%的均一性。
上海市经信委相关负责人介绍，市经信委正聚焦产业链中市场配置难以完全奏效的环节，补上短板，助力集成电路产业进一步发展。如成立上海电子化学品专区，重点发展光刻胶及配套材料等，力争到2025年与本地集成电路产业电子化学品配套率达70%；又如，在临港成立中国RISC-V产业联盟，RISC-V是第五代精简指令集的简称，是软硬件间一系列接口的标准规范；再如引入瞻芯、天岳等头部企业，在临港超前布局宽禁带半导体即第三代半导体产业基地等。(记者 李晔)
