“MEMS传感器十大园区”发布 园区实现“四连冠”

苏州工业园区科技创新委员会昨天（5月30日）发布消息，在近日举行的第六届中国（蚌埠）MEMS智能传感器产业发展大会上，苏州工业园区再度蝉联“MEMS传感器十大园区”榜首，实现“四连冠”。

近年来，园区重点培育纳米技术应用及新材料产业，完成从设备、原材料、制备、工艺集成到应用的全产业链布局。经过十多年的持续培育，园区聚焦以氮化镓、碳化硅为主的第三代半导体、以智能传感器为主的微纳制造、纳米功能材料和纳米大健康四大细分领域，引进和孵化相关企业近1300家，2023年产值达1557亿元；入选“国家先进制造业集群”“国家创新型产业集群”，在“国内智能传感器十大园区排名”“第三代半导体最具竞争力产业园区”中均位列榜首。

政策、产业、平台、人才等资源的频频加码，让园区智能传感器产业迅速发展。在MEMS产业方面，园区也举措频频、收获满满：不仅打造了纳米加工平台、MEMS中试平台、测试分析平台、微系统平台封装等产业链关键支撑平台，还成立了全国首个MEMS产业知识产权联盟，启动了全国首个“MEMS产业专利池”，促进MEMS产业跨界创新、全链融通。目前，园区MEMS中试量产平台名列全国MEMS代工线前三，突破传感器灵敏度、线性度、稳定性、功耗等关键指标，带动产业链上下游发展，还培育了敏芯、纳芯微、明皜传感等一批领军企业和高成长性企业，在声学传感器、压力传感器、气体传感器等众多领域形成了先发优势；纳芯微、敏芯微连续五年入选“中国半导体MEMS十强企业排行”。