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临空“兴华芯”首张半导体光罩样片“问世”

从去年3月30日正式开工建设,到今年4月1日首张半导体光罩样片成功“问世”,历时整整一年。兴华芯(绍兴)半导体科技有限公司总经理曾振瑞感慨地说,这是他和团队成员们在柯桥这片创业热土上创造出的一段“佳话”!

表面呈正方形,长、宽均为6英寸,厚度达0.25英寸,犹如一块透明玻璃……4月2日下午,曾振瑞难掩激动之情,作为一名有着20余年光罩产业从业经验的“行家里手”,他指着手中的半导体光罩样片向记者自豪地介绍,“别看这小小的一片样品,可是我们81人的大团队一年来努力的‘结晶’!”

众所周知,光刻技术是集成电路制造技术的重要组成部分,而光刻光罩是光刻技术中最核心的环节之一,光刻光罩上的图形模式直接影响着芯片制造的精度和质量。一直以来,由于在技术方面长期遭到国外“卡脖子”,半导体芯片制造的“自主可控”已成为国内当下产业发展的主攻方向之一。

这次“兴华芯”首张半导体光罩样片成功产出,无疑是个好开端。“目前,我们已实现每月产能1350片,等二期项目产能全部释放后可达到3000片/月。”曾振瑞表示,目前半导体光罩市场中,国产替代率尚不足20%,市场前景非常好。随着公司产能的进一步提升,今后将成为国内最大规模的光罩基地之一,预计全部达产后可年产半导体光罩3.6万片,实现年销售17亿元、利润5亿元。

同样令曾振瑞印象颇深的,还有来自于杭绍临空示范区绍兴片区对项目的全方位支持和“保姆式”服务。无论是从政府政策支持和资金补助,还是在项目推进建设中的解难纾困,过程中的“临空速度”“临空服务”都让他连连称赞。

“光罩”仅仅是“兴华芯”在半导体创业版图中的一个局部。在曾振瑞看来,起好了步,以后的步子才能迈得更加稳健。今后,公司还将孵化和带动更多的半导体芯片上下游产业发展,进而从“链”到“群”形成良性循环,在柯桥打造光电信息产业集聚区,加快形成新质生产力,将光电信息产业打造成区域经济增长的新引擎。

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